光刻機的制造難度主要在于三大關鍵設備：光源、雙工件臺、光刻機鏡頭。
而在光源方面，毫無疑問Z國的世界最強的那個，這個結論從激光武器Z國明顯領先M國便能得出。
一個小小的光刻機光源，完全難不倒Z國的科研人員。
雙工件臺就不太容易了，據說ASML研發的基于磁懸浮平面電機的雙工件臺產品，其掩模臺的運動控制精度做到了2納米，大大提升了芯片加工的精度和效率。
如此先進的雙工件臺，外國專家曾傲慢地說：“全世界沒有第二家機構能做出來。”
然而僅僅過去五年不到，Z國菁華大學的一個科研團隊，研制的運動精度控制在2納米左右的雙工件臺，成功通過了整機驗收。
關鍵技術指標達到了國際同類光刻機雙工件臺技術水平。
雙工件臺也被Z國人攻克了。
最后就是光刻機鏡頭，近些年光學鏡頭領域進步飛速，甚至有家民用衛星公司制造的光學衛星，分辨率就達到了1米、0.5米，地面的航母、軍艦、車輛一覽無余，甚至可以拍攝正在起飛的飛機，拍攝火箭發射畫面，清晰度令人吃驚。
民用光學衛星的表現已如此夸張，軍用當然更不得了。
這反映出的，是Z國在光學鏡頭領域的進步。
光刻機鏡頭自然也難不倒Z國的科研人員。
所以光源、雙工件臺、光刻機鏡頭這三大用于制造光刻機的核心設備，Z國全部掌握。
這也正是ASML公司對Z國放開光刻機銷售的原因……嚴厲的封鎖，光刻機領域，只會導致Z國以更快的速度取得突破。
兔子被逼急了，會要你的命。
而Z國的光刻機至今沒有趕上國外最先進水平，一方面是市場份額被人牢牢把控；其次走相同的技術路線，會不可避免地會侵犯到ASML的知識產權，引發專利官司。
再加上一些關鍵設備的禁售。
國產的光刻機發展始終不溫不火。
即便如此，為了繞開國外的專利壁壘，Z科院光電所另辟蹊徑，研制了一款全新的光刻機——
超分辨納米光刻機。
這種光刻機采用了與傳統光刻設備完全不同的技術路線，用365納米近紫外光源，單次曝光最高線寬分辨力達到22納米，結合多重曝光技術后，可用于制造109納米級別的芯片。
而這款光刻設備，使用的是波長更長、更普通的紫外光，在普通環境下便能完成光刻，意味著國產光刻機使用低成本光源，實現了更高分辨力的光刻。
制造成本只有ASML公司光刻機的幾分之一，乃至十幾分之一。
技術原理層面的突破，更是相當于別人在開山修路的時候，你打通了一條隧道。
不過超分辨納米光刻機雖好，卻也存在一個較為嚴重的缺陷。
那就是曝光時間過長。
尤其實在芯片領域，EUV光刻機曝光15秒便能完成的任務，超分辨光刻機需要十多天。
更加形象的比喻是，傳統光刻機是直接拍出一張照片，超分辨光刻則是拿一支筆，慢慢畫出一張圖片……效率差別巨大。
商海微電子公司。
來到這家公司調研的陳今，看到面前的這臺22納米超分辨光刻機，聽了該公司的老總張昱明的介紹后。
“你說這么好的設備，不能用于芯片的制造，為什么不能？”
陳今皺著眉頭，這太可惜了吧。
“不是不能，而是太慢！我們想了各種辦法提高它的曝光效率，但曝光一張影刻，依然需要五天的時間，效率是傳統光刻幾萬分之一，這完全抵消了我們的成本優勢，只適合給一些較小規模的市場，比如軍用芯片、光學器件、高精密光柵、光子晶體陣列等等，這些領域我們的超分辨光刻機賣了好幾十臺。”
“但大規模的芯片制造，只能老老實實地發展傳統光刻。”
張昱明搖著頭道。
目前商微電子的10nm光刻機，走的就是193nm光源浸沒式光刻路線，但制造成本太高，沒有市場競爭力，又面臨著ASML的專利壁壘，故而沒有推向市場。
EUV光刻方面，商微電子與國內很多機構合作，取得了一定的突破，但也面臨專利方面的問題。
很多高精尖設備，不是說Z國人打破不了壟斷，而是專利壁壘擋在了那里。
“你們有沒有辦法加快它的曝光效率，趕上傳統光刻機呢？”
陳今問道，他覺得超分辨光刻這條路線，真的可以繼續走下去，應用于大規模芯片制造。
“辦法有！但實現太難了，以現有的技術，幾乎不可能實現。”
“你先說說你的辦法。”
“增加‘筆’的數量，就是把光刻鏡頭做小！在手指頭大小的光刻鏡頭內，集成1萬個微型鏡頭，讓這些微型鏡頭同時參與工作，完成集成電路的影刻。”
張昱明搖著頭，見陳今聽得一臉認真，不得不繼續道：“芯片內部的結構并不是非常復雜，每個die都是一樣的構造，每個晶體管也是相同的，一萬個微型鏡頭，同步完成一樣的工作，可大大加快超分辨光刻的效率。”
“甚至如果能做出這樣的光刻鏡頭，我們可以在一臺超分辨光刻設備內，集成十組、一百組光刻鏡頭，在直徑超過100英寸的晶圓上進行光刻，10萬、100萬個的微型鏡頭同時工作，整體光刻效率，甚至遠遠超過傳統光刻機！”
“但……太難了，以現有的工業制造能力，生產出那樣的光刻鏡頭，至少得等到20年以后。”
問題是二十年后，隨著工業技術的提高，傳統光刻機的造價也降下去了，超分辨光刻還是不具有明顯的競爭優勢……這條路，前景雖好，卻注定成不了一條光明大道。
“所以說，主要只是一個光刻鏡頭的問題，對么？”
陳今眼里閃爍亮光說道。
“是的，主要的難點就是鏡頭。”
“好辦，鏡頭好辦……星海科技，有辦法提供你所說的這種鏡頭。”陳今說道。
張昱明正點著頭。
突然卡了一下。
扭過頭看著陳今，一臉呆愕！
喃喃問道：“陳總你說什么？”
