“現代的光刻技術分成幾個步驟，首先是氣相成底膜，就是硅片在清洗、烘培后首先通過浸泡、噴霧或化學氣相沉積等工藝。
然后是旋轉涂膠，是形成底膜后，要在硅片表面均勻覆蓋光刻膠，此時硅片被放置在真空吸盤上，吸盤底部與轉動電機相連，當硅片靜止或旋轉的非常緩慢時，光刻膠被分滴在硅片上，隨后加速硅片旋轉到一定的轉速，光刻膠借助離心作用伸展到整個硅片表面，并持續旋轉甩去多余的光刻膠，在硅片上得到均勻的光刻膠膠膜覆蓋層，旋轉一直到溶劑揮發，光刻膠膜幾乎干燥后停止。
然后是軟烘，是涂完光刻膠后，需對硅片進行軟烘，除去光刻膠中殘余的溶劑，提高光刻膠的粘附性和均勻性。未經軟烘的光刻膠易發粘并受顆粒污染，粘附力會不足，還會因溶劑含量過高導致顯影時存在溶解差異，難以區分曝光和未曝光的光刻膠。
還有曝光，這個過程是在硅片表面和石英掩模對準并聚焦后，使用紫外光照射，未受掩模遮擋部分的光刻膠發生曝光反應，實現電路圖從掩模到硅片上的轉移。
顯影，是使用化學顯影液溶解由曝光造成的光刻膠可溶解區域，使可見圖形出現在硅片上，并區分需要刻蝕的區域和受光刻膠保護的區域。顯影完成后通過旋轉甩掉多余顯影液，并用高純水清洗后甩干。
堅膜，顯影后的熱烘叫做堅膜烘培，溫度比軟烘更高，目的是蒸發掉剩余的溶劑使光刻膠變硬，提高光刻膠對硅片表面的粘附性，這一步對光刻膠的穩固，對后續的刻蝕等過程非常關鍵。
堅模之后就是刻蝕了，這項工藝非常重要，是通過化學或物理的方法有選擇地從硅片表面除去不需要材料的過程，通過刻蝕能在硅片上構建預想的電子器件。
最后就是去膠，是刻蝕完成后，通過特定溶劑，洗去硅片表面殘余的光刻膠，此時一個小小的芯片基本就完成了！”
呈賢把這臺光刻機的工作原理講的非常清楚，讓周明都有耳目一新的感覺。
“果然厲害，我們的刻紋機就沒有這么多的結構，怪不得人家那么強大，在這些小小的細節方面我們就沒法比呀！”
作為科學家，周明教授只認真理，人家美國強就是強，你不承認就是自欺欺人，不像有的人，人家比你強還不承認，這樣的態度永遠不會進步。
“海軍小同志，你接觸這套生產線時間最長，那你有如何改進的方法嗎？”
周明看著王海軍問道。
王海軍一聽腦袋晃得跟撥浪鼓一樣。
“我有方法？我要有方法那就是神仙了！”
“周教授，我沒有任何方法，甚至我連光刻機里的構成都不知道呀！”
王海軍實話實說道。
“嗯，我也沒有方法，這種設備不是幾個人就能弄明白的，看來只能找人了，或許那幫家伙能幫上忙！”
周明說道。
“誰？周教授你快說！”
劉瑯趕忙問道，其他人也是眼前一亮。
“二十年前我們國家成立了光學設備研制小組，現在都是一幫老家伙了！”
周明打了一個電話。
“老謝呀！我是周明呀！”
周明打通這個電話已經是幾天后了，不是他耽誤了時間，而是對方太忙，找了數次都不在，最后還是對方打了過來
“老周，我知道是你………老周，你不在華夏大學上課怎么跑到了滬市去了？”
對方笑著問道。
劉瑯就在旁邊，知道對方叫做謝喜德，現在是首都第三晶體管廠的總工程師，這家晶體管廠可是現在國內最大的一家廠子，年產一千多萬塊晶體管，國內大多數國產收音機里面的晶體管都是這家廠子的產品，而這位謝喜德同周明教授一樣，也是當年五十年代初期從國外回來的半導體專家，兩人也是二十多年的老朋友了。
“老謝呀！現在滬市不是成立了一家電子產業園區嘛，我在滬市就是在籌備這些事！”
周明回答。
“哼，滬市成立電子產業園區？怎么是滬市不是首都？首都也不差吧？”
謝喜德一聽頓時語氣有些不善了。
“呵呵，老謝呀！那是國家的決定，不是你我能說的算的，再說，滬市首都哪里不是一樣？都是為了我們國家！你看看我，華夏大學的老師不也到這里來了嗎？”
周明笑道。
“你這個家伙就是老好人………行了，你這么急找我有什么事？”
“好事，就是邀請你來滬市看看！”
周明說道。
“看看？你這個老好人我還不了解？悶頭悶腦，但是花花腸子不少，你讓我過去是要幫忙吧？”
“我悶頭悶腦，你可就是聰明絕頂了，有很多事情我辦不了，所以就找你過來看一看！”
周明對這個謝喜德非常客氣。
“我可沒時間，我手里還有一堆活呢！不去不去！”
對方回答。
“別的呀！老謝，我們這里可是有那一臺島國人制造的晶圓生產線，你不來就要錯過了！”
周明不急不慢地說道。
“我呸！你還好意思說這套生產線的事？當年國家從島國買來這套設備，我們廠可是最先提出來的，結果硬是被那什么………江南無線電廠給搶去了，他們有什么？要人沒有人，結果怎么樣？這么多年也沒搞出什么東西來，白白浪費了國家的資金，你現在還拿這件事給我說……不去，說什么也不去！”
對方當時就急了。
劉瑯在一旁聽著好笑，這件事周明跟他說起過，五年前引進這套設備的時候曾經有好幾家企業想要，首都第三晶體管廠做為國內最大的一家半導體企業，當然希望引進這臺具有世界先進水平的生產線，可是這套設備太貴了，價值數千萬美元，雖然國家會給予一定的補貼，但是企業自己也要花費超過億元的資金，這筆錢太多了，光靠企業還是無法完成了，只能通過當地政府幫忙。
首都沒有出這筆錢，反倒是蘇省拿出這筆錢把這套生產線買了過來，不過江南無線電廠雖然得到了這套設備可也沒有人能夠真正操作，只是生產了一年之后就因為市場不好而停工，一放就放了好幾年，要不是有王海軍等幾個人月月維護，這套設備恐怕也就報廢了。
從這件事就可以看出來國家產業的布局沒有一個統一的規劃，一套設備能不能用都還沒弄明白就先買過來，買回來后也不知道誰來使用，要不然劉瑯也不會提出產業園區的概念。
這件事讓謝喜德一直耿耿于懷，所以一聽到這件就急了起來。
“老謝，你真的不來？”
周明問道。
“不去，不去，我說不去就不去！”
對方生氣地說道。
天才一秒：m.
